微傳感器
作者來源:admin 發(fā)表時間：2025-06-30
導(dǎo)讀：
微傳感器是一種基于半導(dǎo)體工藝技術(shù)的新一代傳感器器件，它應(yīng)用新的工作機制和物化效應(yīng)，采用與標準半導(dǎo)體工藝兼容的材料，用微細加工技術(shù)制備的。微傳感器因其微型化、智能化、低功耗、易集成的特點而越來越受到青睞。
分類
微傳感器的分類：
根據(jù)是否有能源供應(yīng)，可以分為有源微傳感器（例如：壓電）和無源微傳感器（例如：熒光）
根據(jù)微傳感器所能測量的對象不同，還可以分為如下九類：
機械微傳感器：用于力、形變、位移和速度等測量的微傳感器。
化學(xué)微傳感器：用于成分、濃度、濕度和PH值等測量的微傳感器。
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